自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計

簡要描述：自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計：
-- 直通式設計，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。
-- 精確度高、重復性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。
-- 標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、穩定、可靠的壓力測量和控制。
該數字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

產品型號：ACU20PC-LH
廠商性質：生產廠家
更新時間：2026-05-20
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數控電子壓力控制器EPC

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一、自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產品特點：

-- 測量范圍從10Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。

-- 精確度高、重復性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。

-- 標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、穩定、可靠的壓力測量和控制。

該基本數字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配備標準的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩控制的特性。

我們有不同系列的控制閥對應特定的應用領域。常規應用使用標準的直接操控閥，高流速應用使用先導閥。

二、應用領域：

-- 半導體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護控制，高壓釜/反應釜壓力控制等。

三、自動補氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產品參數：（如所需參數與下述列舉不同，請另行溝通咨詢）

技術參數	精度(包括線性和滯后性)	≤±0.5%F.S
	壓力量程比	壓力計	1:100
		壓力控制器	1:50
	重復性	≤0.1%
	傳感器響應時間	0.2s
	控制穩定性	≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
	運行溫度	-10~+70℃
	溫度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影響度（90°變化）	＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
		＜0.6 KPa（差壓傳感器）
	預熱時間	忽略不計

機械部件	材質	不銹鋼
	工藝連接	G3/8"
	密封材質	氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他
	防護等級（外殼）	IP40

電氣特性	電源	15~24Vdc
	數字輸出	RS485/RS232、Modbus、profibus、Devicnet等協議
	電氣連接	DB9

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